第二百八十五章 技术路线

媒体总是喜欢给枯燥无味的技术突破通过各种具有象征性意义的关键节点进行概括，浸没法就是后世芯片技术发展中经常被提起的关键节点。

在此之前还属于业内追赶者地位的ASML借助浸没式光刻机成功实现了技术上的反超，并且反超之后再也没有被其他厂商超越过。

回到2003年的时间节点，没有被林本坚极力坚持下，ASML没有考虑浸没式的路线，而是继续坚持之前的干式光刻机的研发。

和后世相同的点在于，有阿美利肯资本主导，ASML、台积电和英特尔这三家厂商联合在了一起，推动光刻机的研发，缺少林本坚这一灵魂人物，他们的技术路线依然是干式光刻机。

周新在回华国的飞行途中，对于这个问题进行了深度的思考。

浸没式光刻机从技术上来说只是简单的一句话，但是落地中间实际上还是有大量的技术研发工作要做，并不是说我加一层液体在中间这么简单。

从干式光刻机到浸没式光刻机是技术路线的掉头，新芯完全可以成为这一技术路线的先行者。

做先行者，做出成绩来之后确实会被同行学习你的先进经验，浸没式光刻机的技术路线被证实后，大家都会朝这个方向走。

新芯光刻机的技术优势无法保持太长时间，但是先行者的好处也很明显，那就是可以拥有在浸没式光刻机中间的部分关键专利。

掌握关键专利，一是可以靠关键专利收费，二是在未来这是钳制海外试图把华国企业从芯片产业链中踢出去的利器。

华国企业在芯片先进制程上下游掌握的不可替代关键专利越多，未来主动权越大。

这层膜迟早会被揭开，与其等别人来揭示不如自己利用它换成握在手里的优势。

周新想好之后，在张江高新园区属于新芯的整片办公区里找到了林本坚。

新芯或者说周新全球芯片产业的核心就放在申海，因此申海在各类资源上对张江的倾斜可以说是非常明显。

在那个年代，户口是有指标的，即便是大型央企想要落户申海，也是有指标限制的，新员工需要入职满多少年才能排到，但是新芯每年的指标可以说是没有限制，即便是基层员工最多等两年就能轮到。

申海关于落户一直要到2021年才陆续放开，985硕士或者申海本地的985本科就能直接落户申海，属于是把门槛降到比燕京低了一个档次。

对于华国人来说，户口关联着养老、医疗、教育等多个因素，申海能在这方面给予新芯这个力度的支持，更别提在土地、水电、金融等领域的支持了。

老实说申海的地方银行和金融类企业很想放款给新芯科技，问题是新芯科技这方面的需求不大。

至于土地方面，正是因为新芯在张江，帮助张江片区的房价几乎是每年一个样，每年上一个台阶。当下地方政府已经开始依赖土地收入了。

更别提新芯在张江带动的上下游产业链，创造的就业岗位了，因此张江直接批了一整块地给新芯，新芯相当于在张江高科技园区的范围里建了自己的产业园。

这块产业园目前不仅新芯自己在用，同时还把部分闲置的区域租给了其他芯片公司。

“林叔，我认为浸润法会是一个可行的技术路线，和现在的干式光刻机相比，在曝光区域和光刻机透镜之间充满水，可以利用折射让光源的波长更短。”

经过这三年的一起工作，周新和林本坚之间建立了充分的信任基础，因此像这种技术机密他能直接告诉对方。

信任基础是一方面，另外双方的利益通过新芯半导体高度绑定又是另一方面，周新不仅给了林本坚新芯光刻机的股份，还考虑到新芯光刻机在短期很难创造效益，甚至因为阿美利肯的打压长期都无法创造效益，因此除了新芯光刻机股份之外，还给了对方新芯科技芯片代工这一板块的期权。

这是台积电绝对开不出的待遇。

林本坚听完后说：“我本来也打算和你说我的想法，我正打算和新芯光刻机的同事们一起写几篇论文发给你，说服你选择浸没式，好吧你叫浸没式，其实我们打算叫它湿法光刻机。”

是的，林本坚也打算在新芯光刻机130nm制程工艺的光刻机上采取浸没式的技术路线。

周新听完后倒也没有特别惊讶，作为光学领域的顶级牛人，林本坚能想到湿法并不奇怪，周新问起另一个问题：“为什么要争取我的同意？

之前我们在沟通要做光刻机这件事的时候，不就说好了，我不会干预新芯光刻机的经营，经营全权交给你吗？”

林本坚点头：“之前我们确实是这样沟通的，但是现在情况又不一样，要走湿法光刻机的路线，是在和全世界为敌。

我们需要说服光刻机各种元器件的供应商，尤其是蔡司，和我们配合，我们做过湿法光刻机的预研究工作。

和干式光刻机相比，我们需要改变镜头组，之前的透镜组合可能无法满足我们的需要。

中间还涉及大量的技术性工作，比如说水放进去之后空气可能会产生气泡，水必须非常均匀，但是实际上会有光照到水上，光照到水上会产生温差，温差就会导致水不均匀。水不均匀会进一步影响到成像。

中间有大量技术性工作要做，新芯光刻机的体量太小，过去的时间里业内在干式光刻机领域投入了超过十亿美元的研发费用，我们现在相当于完全另起炉灶。

湿法光刻机是否真的能达到我们预期的效果，我不确定。

这是赌上新芯光刻机的命运。”林本坚眼神中展露出从未有过的认真。

这么说，这条技术路线赌赢了，手握大量技术专利，即便再通过瓦森纳协定卡脖子，一来可以出售专利给其他光刻机公司，然后继续在这一技术路线上继续研发，积累技术优势，构建自己的专利墙。

二来其他公司到时候做转向的时候，ASML、佳能、尼康处于同一起跑线，ASML不会那么快形成垄断，新芯光刻机能买到一些技术。

周新听完后想起原时空中林本坚在台积电工作的时候坚持要走浸没式光刻机路线，也没有听说当时林本坚经历过如此激烈的内心斗争啊。

周新再一思考，觉得是因为之前属于是帮台积电打工，自己无论干的怎么样拿的都差不多，自然会有学术上的坚持，赌性会更强，输了自己的损失有限。

现在新芯光刻机也有他的一份，技术路线一旦选错，失去的时间可再也回不来，损失是自己的。

周新在思考，林本坚见对方不说话，继续说：“其实我一直很犹豫，因为干式光刻机大家都在走这条路，业内的同行业公司他们都是研发干式光刻机。